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氮化铝高温隧道烧结炉设计及试验研究
作者：陈庆广，邓斌，王学仕，万喜新，姬常晓
摘要：针对以"新基建"为代表的通信领域对高功率,高性能电子元器件的需求,阐述了氮化铝陶瓷基板的优点和工艺复杂性;针对性开发高温烧结设备,并据此进行氮化铝陶瓷高温烧结工艺试验,分析了升降温速率,气氛场,烧结温度和时间等因素对高温烧结产品性能的影响.
关键词：高温隧道烧结炉 氮化铝陶瓷 高温烧结工艺
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