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一种箱式退火炉及其加热方法
摘要：本发明公开一种箱式退火炉,包括箱体和箱盖,所述箱体内设置有承托装置和加热装置,所述加热装置包含有加热器和电热棒,所述加热器和电热棒均与箱体内壁固定连接,所述承托装置包含有托架和盘式转轴,所述箱体下面设置有电动机,所述电动机上连有联轴器,所述联轴器上连有转动轴,所述转动轴的一端通过联轴器和电动机固定连接,所述转动轴的另一端与托架螺栓连接,所述盘式转轴两端分别与托架和箱体内壁固定连接,所述箱体两侧设置有电源和控制装置,所述电源和控制装置均与箱体螺栓连接,所述加热器,电热棒,电动机和控制装置均匀电源电性连接,所述加热器,电热棒和电动机均与控制装置电性连接;该箱式退火炉能使半导体芯片受热均匀.
申请(专利)号： CN201810566036.4
申请日期： 2018-06-04
公开/公告号： CN108707969A
公开/公告日期： 2018.10.26
申请(专利权)人：芜湖裕优机械科技有限公司
发明人：不公告发明人
国省代号： CN340202
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