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渗氮设备一般由渗氮炉、供氨系统、氨分解测定系统和测温系统组成。渗氮炉有井式电阻炉、钟罩式炉及多用箱式炉等,膛均应具有良好的密封性,渗氮炉多为井式真空炉。