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抗蚀渗氮的目的是获得厚度为15~60μm的致密 ε 相的渗层，以提高工件在大气及水中的抗蚀能力。抗蚀渗氮氨分解率不应超过70%，渗氮温度可达600~700℃，保温时间以获得要求的渗层深度为依据，但时间又不能过长，以免 ε 变脆。
为了使渗氮层具有足够的抗蚀性，应保持 ε 相层具有50%以上的致密区。检查抗蚀渗氮层的质量，可将渗氮零件浸入10%的硫酸铜溶液中静置2~3min，以零件表面不沉淀析出铜为合格。
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