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什么是光亮退火炉?

返回列表 浏览: 发布日期:2020-10-15 15:11:45【

  随着科学技术的进步,许多工业设备被制造出来,包括光亮退火炉。光亮退火炉是一种新型换热设备,应用广泛。许多工厂都有明亮的退火炉。光亮退火炉的目的是什么?有哪些种类的光亮退火炉?

  光亮退火炉介绍

  光亮退火炉是一种新型换热设备。光亮退火炉是半导体器件制造中使用的工艺,包括加热多个半导体晶片以影响它们的电性能。热处理是为不同的效果而设计的。晶片可以被加热以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或晶片衬底界面,密集沉积薄膜,改变生长薄膜的状态,修复注入的损伤,将掺杂剂从一个薄膜移动或转移到另一个薄膜,或者从薄膜进入晶片衬底。加热方式有电加热、燃油、燃气、燃煤、热风循环。


什么是光亮退火炉?(图1)

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