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光亮退火炉采用双层水冷循环，系统包括双层水冷炉壳、电极、加热体、测温装置、冷却水装置、真空系统、电源和控制柜(必要时还有脱蜡装置和气氛处理装置)。根据不同的工艺要求，炉壳材料可以是低碳钢或不锈钢。炉体可以水平设计，也可以垂直设计。加热控制区的最大数量可以达到8个(或更多)。通过调整这些热区的数量和布局，可以获得更好的温度均匀性，有些炉型可以优于2。
水冷装置、炉壳、炉盖、真空热处理炉电加热元件、单独处理(水冷电极)、中间真空隔热门等部件都在真空和加热条件下工作。在这种极其不利的条件下工作时，必须保证各部分结构不变形或轻微损坏，以免前孔密封圈过热烧毁。因此，各部分应根据不同情况配备水冷装置，以保证真空热处理炉的正常运行。产品的化学处理，如石墨产品或CFC产品的高温化学净化，可以通过使用大量流动的工艺气体来完成，这些气体可以是N2、氩气、CH4、H2、氯化氢、R12、R134a等。由微处理器控制的程序顺序可以保证过程的完全自动化和可重复性，产品质量稳定。计算机操作界面和相应的数据处理系统能够满足高可靠性质量控制的要求。
如果短时间断水或水压不足，系统会发出声光报警，但不影响工作，可以继续正常工作。断水或水压不足时，估计这种情况会持续20分钟以上，应立即停止加热。再次加热，直到水压恢复正常。此时需要根据当时加热室的温度，适当修改工艺曲线。
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