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国内外连续光亮退火炉系统的研究前景,如以美国、德国公司为代表的单点测温技术,以线光源(灯管)为热源的双面加热形式,利用红外辐射加热原理直接加热硅片。美国应用材料公司独特的多点侧降技术,采用点光源(灯泡)和单面加热作为热源。球形灯泡发出的光通过高透射时间窗进入反应室,加热硅片支撑排列环上的硅片。温度信号检测侧由多个响应时间非常快的红外探头实时检测,加热时产物高速旋转,使得晶圆表面与反应气体的接触几率几乎相同。连续高温回火的目的是获得回火索氏体或珠光体基组织,获得良好的综合力学性能。因此,高温回火通常用作淬火和回火工艺,也可用于非淬火状态的零件以消除应力和防止变形,如焊接结构零件以消除焊接应力。高温回火也作为表面淬火返工的中间工艺,以减轻应力,降低硬度,而不是退火工艺。正火后,通常采用高温回火来降低硬度,改善切削性能。高温回火也可作为复杂零件和高合金钢零件热处理(包括渗碳等)前的预处理工艺。)。).
产品主要用于烧结和加热其他新型无机材料,如锂电池新能源材料、稀土材料、陶瓷材料、耐火材料、磁性材料、电子器件、硬质合金和催化剂。工作温度可低于1750,可根据不同产品的烧结工艺使用。是连续节能电炉。与间接箱式炉相比,电窑具有节能、操作方便、热稳定性好、产品合格率高等优点。这是目前中国最理想的燃烧设备。