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光亮退火炉的分类及结构介绍

返回列表 浏览: 发布日期:2020-10-31 11:38:45【

  光亮退火炉的分类及结构介绍

  光亮退火炉是半导体器件制造中使用的工艺,包括加热多个半导体晶片以影响它们的电性能。热处理是为不同的效果而设计的。晶片可以被加热以激活掺杂剂、将薄膜转换成薄膜或晶片衬底界面、密集沉积薄膜、改变生长薄膜的状态、修复注入的损伤、将掺杂剂从一个薄膜移动或转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶片衬底。光亮退火炉可以集成到其他炉处理步骤中,例如氧化,或者可以单独处理。光亮退火炉由专门设计用于加热半导体晶片的设备完成。光亮退火炉是一种超节能结构和纤维结构的节能周期运行炉,节电60%。

  光亮退火炉主要用于退火大型碳钢和合金钢零件,但你肯定不了解这方面的知识,所以想知道不锈钢光亮退火炉的介绍?光亮退火炉的框架由各种型钢焊接而成,外框由槽钢为主梁,围板由冷薄板制成,台车光亮退火炉由槽钢为主梁,底板和前后端板由中间板制成。光亮退火炉的燃烧系统在油炉两侧装有多个燃烧器,热流在炉内循环,保证炉内温度均匀。可根据需要选择自动型和半自动型。烟气预热装置:安装在炉膛后部上端。炉内烟气经过预热器后,由风机送至冷风预热,再通过管道送至燃烧器助燃。出口配有手动蝶阀,可调节炉膛压力。广泛应用于化工、石油、食品、冶金、机械、轻工、电力、船舶、造纸、采矿、医药、集中供热等工业部门。

  双层连续光亮退火炉分为“上基换热连续光亮退火炉”和“双层辊底连续球化光亮退火炉”两个系列;该产品是科技创新的环保新产品,已获得国家发明专利,专利号为ZL200810120771和ZL200610053067,处于国内领先水平。根据退火工艺新技术,将两个反向进料单层辊底连续光亮退火炉的传动辊道集成在同一个炉膛内,上辊道和下辊道之间没有耐火炉衬,退火余热用于加热另一层退火片。退火过程结束后,在炉体两端设置废热交换室,利用退火废热对冷工件进行加热。由于热交换,轴承钢棒材球化退火单位电耗由210 ~ 240千瓦小时/吨降低到130千瓦小时/吨以下,节能效果显著。


光亮退火炉的分类及结构介绍(图1)

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