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台车式光亮退火炉技术参数
随着燃料资源的开发和燃料转化技术的进步，台汽车式光亮退火炉的燃料已由块煤、焦炭、煤粉等固体燃料逐渐转变为发生炉煤气、城市煤气、天然气、柴油、燃料油等气体和液体燃料，并开发了与所用燃料相适应的各种燃烧设备。台台车式光亮退火炉是一种用于半导体设备制造的工艺，包括加热多个半导体晶片以影响其电气功能。热处理针对不同的功能进行规划。晶片可以被加热以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或晶片衬底界面，致密化沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，校正注入损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜转移到晶片衬底。光亮退火炉可以集成到其他炉处理步骤中，如氧化，也可以单独处理。光亮退火炉由专门设计用于加热半导体晶片的设备完成。光亮退火炉是一种超节能结构和纤维结构的节能周期运行炉，节电60%。
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