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真空热处理的工作环境其实是
指低于一个标准大气压(1.013×105Pa),
包括低真空(105~102Pa)、
中真空(102~10-1Pa)、
高真空(10-1~10-5Pa)、
超高真空(<10-5Pa)。
真空热处理设备始于20世纪20年代,但是其真正发展还是从20世纪六七十年代开始的,主要是因当时市场的需求及石墨技术的研究发展。